薄膜厚度仪产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
薄膜厚度仪应用案例
应用领域
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等) 
LED (SiO2、光刻胶ITO等） 触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等） 医学（聚对二甲苯涂层球囊/*壁厚药膜等）
技术参数
| 型号 | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
| 波长范围 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
| 厚度范围 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
| 准确度1 | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
| 精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
| 入射角 | 90° | 90° | 90° | 90° |
| 样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
| 测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
| 光斑尺寸2 | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
| 是否能在线 | 是 | 是 | 是 | 是 |
| 扫描选择 | XY可选 | XY可选 | XY可选 | XY可选
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